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平台建设

微纳电子工程联合实验室

依托单位:北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室

主要方向:数值微米纳米技术、微纳器件研制及应用

微纳电子实验室

研究柔性材料、器件及系统、MEMS传感技术及其他传感技术

光电子集成实验室

研究硅基光电子半导体技术